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一、 技术特点
1、洁净真空环境
真空室内所有结构件采用金属元件和绝缘陶瓷，并经过严格的超高真空抛光、去油、除气处理，保证腔体及炉内材料洁净无油，保证对处理产品无污染，影响产品性能。
2、均温性优
多次验证的设计经验与现代有限元分析软件的结合设计，使炉温均匀性能在±5℃以内；
3、追溯性及严谨性
标配 PLC、真空数据记录仪等,实现设备的智能化、人性化、 自动化,并严格按照既定工艺完成对应实验、生产要求,达到数据上的严谨性、和客观性。
4、真空度优
设备摒弃传统真空炉的扩散泵加机械泵的抽气组合，采用分子泵加机械泵组合，清洁无油，不会出现扩散泵的返油现象，保证真空室及处理材料的洁净度。无需扩散泵的预热环节，启动时间快，真空获得时间短，大大提升生产效率。
5、压升率极低，控制在1pa/h以内
是否能将压升率做到极低的值是衡量真空技术水平的关键指标，对热处理产品质量及表面美观有直接影响，炉壳为全不锈钢材料，焊缝严格检漏，密封原件采用进口产品，并经特殊处理，保证将压升率控制在1pa/h以内，远超真空炉国内标准。
二、设备主要参数
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序号 |
项 目 |
参 数 |
单位 |
|
1 |
炉型 |
卧式 |
/ |
|
2 |
控制方式 |
PLC+人机界面 |
/ |
|
3 |
抽气机组 |
分子泵+机械泵 |
/ |
|
4 |
电源要求 |
3相 380/220V 50Hz |
/ |
|
5 |
总功率 |
60 |
kw |
|
8 |
使用材质 |
炉体及法兰为304L材料 |
/ |
|
加热器为钼镧合金 |
/ |
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|
隔热屏为钼镧合金加不锈钢 |
/ |
三、主要技术指标
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序号 |
项 目 |
参 数 |
单位 |
|
1 |
加热区尺寸 |
900*730（L×ø） |
mm |
|
2 |
工作区尺寸 |
600*400*400（L×W×H） |
mm |
|
3 |
工作温度 |
≤1200 |
℃ |
|
4 |
极限温度 |
≤1300 |
℃ |
|
4 |
均温性 |
±5（900℃，保温30分钟后测量） |
℃ |
|
5 |
控温精度 |
±1 |
℃ |
|
6 |
极限真空度 |
6.67×10-4(空炉、冷态、经净化) |
Pa |
|
7 |
工作真空 |
6.67×10-3（空炉,900℃,保温1h） |
Pa |
|
9 |
系统抽速 |
主抽阀开启后20min内（1atm到1×10-3Pa） |
Pa |
|
10 |
升温速率 |
≤20℃/min |
℃/min |
|
11 |
温度测量 |
一点控温、一点金属屏温度监控，预留电极法兰口，用于温场测量 |
/ |
